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切割液注入机

切割液注入机

概要

DI系列切割液注入机专为电子半导体行业设计,是用来满足晶圆清洗药水的

自动补加设备,通过注液泵将切割液按照比例输送至切割机。


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概要

DI系列切割液注入机专为电子半导体行业设计,是用来满足晶圆清洗药水的

自动补加设备,通过注液泵将切割液按照比例输送至切割机。


特点

DI系列切割注入机具有高效、准确的切割液注入能力。

自动进行测量和监控,提供高质量、高精度的切割效果可靠。

根据客户不同需求,最多可同时为1-2台或1-4台切割机同时提供切割液。

主要元器件均采用进口知名品牌。

整机参数

(1)进水水质:18兆欧的超纯水

(2) CO2纯度:99.5%以上(无油,无微粒)

(3)最大出水量:2000/小时

(4)电阻率调节范围:0.2-2MQ·cm

(5)电阻率调整误差:15%

(6)进水压力:0.25-0.45MPa

(7)进水温度:15-25°C

(8) C02压力:0.02-0.1MPa

(9)运行环境温度:15-25°C

(10)存放环境温度:15-25°C

(11) 运行/存放空气湿度:相对湿度0-85(无结露


型号 

DI-2

DI-4

输入电压

200~240V AC ±10%

注液泵速率

双泵,2   L/hour最大

44 L/hour最大

液位限制

磁浮开关

水压

(去离子水)

5kg/cm² 最大

储液室容量

20加仑

外形尺寸

526mmX410mm X1156mm (mm)

重量

40KG

45KG

压缩空气

0.5MPa清洁干燥压缩空气

电源

AC220V;50/60 Hz; 5A; 功率小于600W



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