坤皓科技(上海)有限公司
15001810426 李(销售总监)
13764210813 郑(销售经理)
16628517972 洪(销售经理)
品质优良,工作稳定,货期及时,服务完善。
▶概要
◆该设备是手动上下料,自动扩膜,自动翻转,自动扣合子母环,适用于半导体晶粒扩张工序。
▶特点
◆扩膜平台由伺服电机驱动,通过触摸屏设定
◆子母环扣合由气缸推动,压力可调
◆扩膜高度通过触摸屏设定
◆平台加热温度可控
◆主要元器件均采用进口知名品牌。
型号
SE-08S
SE-12S
框架尺寸
8英寸(可定制)
12英寸
晶圆规格
≤8英寸
晶圆种类
硅,砷化镓或其他
膜类型
蓝膜或UV膜
装卸方式
手动上下料
工作台
防静电特氟龙处理,扩膜高度可调,工作台加热可选
效率
80片/小时
外形尺寸
400宽×700深×600高(mm)
600宽×900深×600高(mm)
重量
110KG
140KG
压缩空气
0.5MPa清洁干燥压缩空气
电源
AC220V;50/60 Hz; 5A; 功率小于600W