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倒置扩膜机SE

倒置扩膜机SE

概要

该设备是手动上下料,自动扩膜,自动翻转,自动扣合子母环,适用于半导体晶粒扩张工序。


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概要

该设备是手动上下料,自动扩膜,自动翻转,自动扣合子母环,适用于半导体晶粒扩张工序。


特点

扩膜平台由伺服电机驱动,通过触摸屏设定

子母环扣合由气缸推动,压力可调

扩膜高度通过触摸屏设定

平台加热温度可控

主要元器件均采用进口知名品牌。

型号

SE-08S

SE-12S

框架尺寸

8英寸(可定制)

12英寸

晶圆规格

8英寸

12英寸

晶圆种类

硅,砷化镓或其他

膜类型

蓝膜或UV

装卸方式

手动上下料

工作台

防静电特氟龙处理,扩膜高度可调,工作台加热可选

效率

80/小时

外形尺寸

400×700×600高(mm)

600×900×600高(mm)

重量

110KG

140KG

压缩空气

0.5MPa清洁干燥压缩空气

电源

AC220V;50/60   Hz; 5A; 功率小于600W


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