铁环扩铁环扩膜机FE

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坤皓科技（上海）有限公司

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▶概要

◆该设备是手动上下料，自动扩膜，自动扣合环架，大铁环转小铁环，适用于半导体晶粒扩张工序。

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▶概要

◆该设备是手动上下料，自动扩膜，自动扣合环架，大铁环转小铁环，适用于半导体晶粒扩张工序。

▶特点

◆扩膜无需子母环，大环直接扩至小环上，扩膜均匀。

◆平台由伺服电机驱动，通过触摸屏设定。

◆扩膜动力采用伺服电机驱动滚珠丝杆扩膜。

◆扩膜高度及速度可在配置的触摸屏中参数化进行设置。

◆ Frame定位采用定位销

◆压环，切断动力由气缸推动，压力可调。

◆平台加热温度可控。

◆主要元器件均采用进口知名品牌。

公司地址：上海市松江区九亭镇同利路519号4栋1楼

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