▶特点
◆兼容性:兼容6; 8英寸划片环,且产品更换时无需更换台盘。
◆省膜:做6英寸划片环100M膜最多可贴426片;做8寸划片环100M膜最多可贴334片。
◆可调整性:晶圆吸附力,划片环吸附力可调且可数显显示:贴膜压力可调且有压力表显示,晶圆工作台高度可调,且有刻度盘显示,离型层回收力可调且有刻度盘显示。
◆晶圆安全性:实时晶圆真空度检测,浮动晶圆放置台,防静电特氟龙处理晶圆放置台,保证晶圆安全。
◆挑膜安全性:划片环采用吸盘吸附,且膜环切后,有四个卡爪伸出将划片环固定,可很大程度上提高挑膜时的安全性。
◆操作安全性:操作窗口设有安全光幕。
◆全方位检测:其他检测包括膜耗尽检测:废膜卷更换检测;切割刀位置检测;划片环检测; 门禁检测;所有气缸工作位置检测等。
◆高品质贴膜效果:无气泡;悬空膜无皱且具一定张力。
◆高质量:主要元件均采用进口知名品牌;全不锈钢外壳;铝型材机架。
